高能离子源清洗对AlCrN刀具涂层结构及性能的影响

来源 :第十一届全国表面工程大会暨第八届全国青年表面工程学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ConchConch

【摘要】

：

本文采用国内自主研发的多弧离子镀设备,研究涂层沉积之前离子清洗技术对涂层结构和性能的影响.不同于传统离子轰击清洗时的基体偏压(主要轰击离子为Ar+和Ti+),高能离子源清洗技术采用电子激发大量的Ar+离子实现了基体偏压较低状态下对工件的清洗.基于此,本文研究了不同清洗工艺对基材表面粗糙度的影响以及所制备的AlCrN涂层的表面形貌、硬度、膜基结合力和摩擦磨损性能.研究结果表明,低偏压状态下,高能Ar

【作者】

：

毛陶杰方炜蔡飞王启民张世宏

【机构】

：

安徽工业大学材料科学与工程学院,安徽马鞍山 243002;安徽工业大学现代表界面工程研究中心,安徽马鞍山 243002

【出处】

：

第十一届全国表面工程大会暨第八届全国青年表面工程学术会议

【发表日期】

：

2016年4期

【关键词】

：

AlCrN 离子源清洗结构性能

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