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用带电粒子活化法分析重掺杂硅中氧氮含量的工作在北京大学静电加速器上初步开展起来了,通过对实验设备的改进和完善以及对部分样品的测量,得到了一些初步结果,也发现了一些待改进的问题.在此基础上,将努力在北大重离子所建成C、N、O分析的规范方法(CPAA),以满足国内材料研究的需求.
用带电粒子活化法作重掺杂硅中氧氮含量的分析
【摘 要】
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用带电粒子活化法分析重掺杂硅中氧氮含量的工作在北京大学静电加速器上初步开展起来了,通过对实验设备的改进和完善以及对部分样品的测量,得到了一些初步结果,也发现了一些
【机 构】
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北京大学重离子物理研究所
【出 处】
：
'2001全国荷电粒子源粒子束学术会议
【发表日期】
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2001年期
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