【摘 要】
：
在集成电路工艺中,硅芯片上的电子组件是采用金属导线将它相互连接起来.可作互连导线的金属有Al、Au、Ag、Cu和Ti等.集成度并不高的传统IC工艺中,使用的金属是Al.但铝在硅中
【出 处】
：
中国质谱学会第七届会员代表大会暨学术报告会
论文部分内容阅读
在集成电路工艺中,硅芯片上的电子组件是采用金属导线将它相互连接起来<[1]>.可作互连导线的金属有Al、Au、Ag、Cu和Ti等.集成度并不高的传统IC工艺中,使用的金属是Al.但铝在硅中容易发生电迁移、发生Al/Si共熔的"铝吃硅"现象、在300℃左右的工艺温度下,铝膜上会形成突起,有时甚至会穿透相互连线之间的电介质绝缘层,造成短路<[2]>.所以当IC工艺水平发展到0.18μm以下时,铝的电阻率及抗电迁移性能已经不能满足实际需求,必须开发新的金属材料.
其他文献
天津市静海区现有各类型幼儿园249所,其中公办幼儿园184所(含教育部门办幼儿园8所、乡镇中心幼儿园36所、村办幼儿园138所),民办幼儿园(含民办托幼点)65所.
按照天津市《学前教育深化改革规范发展的实施意见》和《大力发展学前教育两年行动方案(2019—2020年)》要求,北辰区积极行动,以扩大学前教育资源、提高普惠性幼儿园覆盖率和
我国独有的书法、国画艺术已有几千年历史,是古人智慧的结晶.让每一名中国儿童接受书法、国画艺术教育,培养艺术素养,陶冶高尚情操,是美育的重要途径.一年多来,宝坻区借助书
■专家鉴定收费标准鉴定方式:周三、六、日(下午14:00-17:00)①本中心实物鉴定100元/件、不分大小、不分真假、谢绝照片鉴定;②专家外出鉴定,北京市内,需签定外出鉴定合同。
天津市武清区现有各类型幼儿园344所,其中,公办幼儿园144所、民办幼儿园43所、托幼点109所.公办幼儿园包含教育部门办幼儿园、小学附属幼儿园、集体办幼儿园和部队办幼儿园.
近年来,天津市宁河区始终把学前教育作为教育均衡发展的重点工作强力推进,标准化建设,规范化管理,学前教育呈现出稳步发展的态势.当前,全区认真贯彻天津市《学前教育深化改革
石油酸,又名环烷酸,是石油中的天然有机酸,以不同的化学结构存在于石油及其馏分油中,主要由环烷酸和脂肪酸组成,并以环烷酸为主,一般占90﹪以上.环烷酸腐蚀是炼油工业最关心的
针对不同重量范围的气体,使用不同量程和分辨的天平.因为混和气中需要加入的Ne、Ar、Kr、Xe气体的量都非常少,所以可以使用一个小量程、高分辨的天平来减小称重带来的不确定
美国剧作家尤金.奥尼尔以其多变的表现主义手法开创了美国现代戏剧的新概念。他用“舞台化”的表现主义手法多角度、多层次的展示了20世纪上半叶美国人多重而矛盾的人性,痛苦
天津市蓟州区共有各类型幼儿园289所,其中公办幼儿园150所,民办幼儿园139所(含24所民办托幼点),在园幼儿27101人.根据我区幼儿园数量多、分布广、民办幼儿园比例大、城乡幼儿