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文章对单向微阀门的工作特性进行了模拟分析,讨论了单向微阀门结构参数(阀片的厚度、长度,阀座口宽度)对其工作特性的影响,以及阀片所能承受的最大压差.模拟结果对单向微阀门的结构以及流量控制系统的设计、优化有着重要意义.
单向微阀门的计算机模拟
【摘 要】
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文章对单向微阀门的工作特性进行了模拟分析,讨论了单向微阀门结构参数(阀片的厚度、长度,阀座口宽度)对其工作特性的影响,以及阀片所能承受的最大压差.模拟结果对单向微阀门
【机 构】
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哈尔滨工业大学MEMS中心(哈尔滨)
【出 处】
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第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2000年期
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