碳纳米管场致发射阴极电子枪的电子光学研究

• 作 者: 陈心全 刘京 王琦龙 赵健 黄倩倩 张晓兵 崔云康 狄云松
• 机 构: 东南大学电子科学与工程学院,南京210096
• 出 处: 第八届华东三省一市真空学术交流会
• 发表日期: 2013年期
• 关键词: 碳纳米管 场致发射阴极 电子枪 设计理论 电子束半径 栅极电压 优化研究 阳极电压

基于皮尔斯电子枪设计理论,本文提出了一种碳纳米管场致发射阴极电子枪的电子光学设计方案.电子枪阴极半径为0.5ram,保持阴阳极电压不变,动态调整栅极电压,并利用CST软件对其进行仿真优化研究;结果表明,栅极最佳电压值为-14kV,对应阴极发射电流为15.08mA,阳极处电子束半径约为0.1mm.研究为后续器件的设计和加工奠定了基础.