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本文通过XRD、SEM研究了低温直流电镀铁在铝衬底上的生长过程。结果表明：镀层生长依次经过非稳定生长，过渡生长和稳定生长三个阶段，分别对应Volmer-Weber模式、Stranski-Krastanov模式和Frank-van der Merwe模式三种生长机制。
铝片上电镀铁生长机制研究
【摘 要】
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本文通过XRD、SEM研究了低温直流电镀铁在铝衬底上的生长过程。结果表明：镀层生长依次经过非稳定生长，过渡生长和稳定生长三个阶段，分别对应Volmer-Weber模式、Stranski-Krastan
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院，四川成都610054
【出 处】
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四川省电子学会生产技术专委会2010年学术年会
【发表日期】
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2010年6期
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