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对红外吸收型气体传感器的工作原理进行了分析,设计了一种基于高精细腔技术的红外吸收光谱型气体传感器。并对设计的传感器进行了实验验证,结果显示在通入浓度为20ppm的H2S气体时能达到40的信噪比,测量结果准确；在低浓度时测量有一定的偏差，测量的浓度波动小于3ppm。
基于高精细腔技术的红外吸收光谱型气体传感器
【摘 要】
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对红外吸收型气体传感器的工作原理进行了分析,设计了一种基于高精细腔技术的红外吸收光谱型气体传感器。并对设计的传感器进行了实验验证,结果显示在通入浓度为20ppm的H2S气
【机 构】
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杭州电子科技大学电子信息学院,浙江杭州,310018
【出 处】
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第11届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
：
2009年期
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