HIC导逞缺陷的电学检测与评估

来源 :第十一届全国混合集成电路学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yuantian723
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该文介绍了通过测试混合集成电路导带的方块电阻、温度系数等电学特性,再经过高温存贮试验考核其质量的稳定性,对其质量和缺陷进行了评估分析,探索导带质量缺陷与电学特性的关系,并与微分析结果比较验证。为宏观上评价导带质量缺陷提供一个快捷的途径。
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