【摘 要】
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微泵是微流体系统中重要的驱动部件,压电驱动是实现 MEMS 微流体驱动的一种重要方式.本文根据压电效应原理,提出了一种基于MEMS技术的PZT驱动膜的压电微泵驱动器的结构.利用
【机 构】
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福建省厦门市厦门大学萨本栋微机电中心 361005
【出 处】
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第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会
论文部分内容阅读
微泵是微流体系统中重要的驱动部件,压电驱动是实现 MEMS 微流体驱动的一种重要方式.本文根据压电效应原理,提出了一种基于MEMS技术的PZT驱动膜的压电微泵驱动器的结构.利用 ANSYS 有限元分析软件,建立了压电微泵有限元模型,在一个振动周期内进行了耦合场微泵驱动膜振动位移和流场中的液体流速的仿真分析.结果显示,该压电微泵可以很好的实现液体的输运.
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