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基于微光学扫描原理,设计了一对微透镜阵列,通过MOEMS(微光机电)制作工艺,利用不同折射率的材料制作了两组凸透镜阵列,并利用压电陶瓷驱动其中一个凸透镜阵列做二维移动,实现了对入射波长为637nm的激光光束的二维扫描,扫描角度为±6.5°.该扫描器可以用在分视场成像系统中,实现高分辨率的探测.
用于高分辨率成像系统的微型灵巧扫描器研究
【摘 要】
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基于微光学扫描原理,设计了一对微透镜阵列,通过MOEMS(微光机电)制作工艺,利用不同折射率的材料制作了两组凸透镜阵列,并利用压电陶瓷驱动其中一个凸透镜阵列做二维移动,实现
【机 构】
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华中科技大学光电子科学与工程学院,湖北,武汉,430074
【出 处】
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中国宇航学会深空探测技术专业委员会第三届学术会议
【发表日期】
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2006年期
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