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直流与射频磁控溅射薄膜沉积速率的研究
【机 构】
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中北大学
【出 处】
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2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
【发表日期】
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2014年期
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