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用TEOS制备二氧化硅碱性溶胶,以超临界流体技术雾化干燥碱性溶胶制备二氧化硅颗粒。实验考察不同超临界流体(N2和CO2)于不同预膨胀压力对形成的SiO2颗粒形貌和颗粒大小的影响。结果表明:在所研究的条件下,采用超临界N2存高压下可以得到纳米二氧化硅,低压下为微米和纳米混合颗粒;采用超临界CO2则均得到纳米二氧化硅,且压力高,颗粒反而大。