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随着信息技术、网络技术和计算机等行业飞速的发展，对集对电路的集成度要求越来越高，即出现超大、甚大规模集成电路。本文介绍了一种在国内外首次由天然锆英砂制备微米级研磨料及纳米颗粒的均一稳定化技术，其技术关键为均一的ZrSiO4-α-Al2O3相形成及合适的破碎分级技术和纳米颗粒的制备及均一稳定化技术和工艺。其相关产品现已在北京有研硅股进行了系列试用，效果较为理想。