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随着材料科学和表面科学的发展，镀层和涂层的应用已经越来越广泛。进行这些薄层的厚度测量、深度分析对研究薄层的性能有十分重要的意义。大气压放电由于其操作方便，装置简单，很早就被作为一种剥蚀源引入电感耦合等离子体质谱仪，其在固体样品直接分析方面具有优异的分析性能。
脉冲放电电感耦合等离子体质谱用于纳米薄层的深度分析
【摘 要】
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随着材料科学和表面科学的发展，镀层和涂层的应用已经越来越广泛。进行这些薄层的厚度测量、深度分析对研究薄层的性能有十分重要的意义。大气压放电由于其操作方便，装置简
【机 构】
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厦门大学化学系,谱学分析与仪器教育部重点实验室,厦门,361005
【出 处】
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中国化学会第二届全国质谱分析学术报告会
【发表日期】
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2015年期
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