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氖离子注入诱导InGaAs/InP量子阱材料带隙变化的研究
氖离子注入诱导InGaAs/InP量子阱材料带隙变化的研究
来源 :第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:llljjjxxx777
【摘 要】
:
研究了氖离子注入诱导InGaAs/InP量子阱材料带隙变化的规律。研究结果表明,由氖离子注入引起量子阱带隙蓝移。蓝移的大小与量子阱的宽度,阱距表面深度,注入离子剂量,能量,及退火条件有关。研
【作 者】
:
王永晨
赵杰
范懿
武丽
【机 构】
:
师范大学物理系(天津)
【出 处】
:
第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
:
1999年期
【关键词】
:
离子注入
量子阱材料
退火条件
离子剂量
带隙蓝移
光器件
设计
能量
宽度
价值
规律
参数
表面
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研究了氖离子注入诱导InGaAs/InP量子阱材料带隙变化的规律。研究结果表明,由氖离子注入引起量子阱带隙蓝移。蓝移的大小与量子阱的宽度,阱距表面深度,注入离子剂量,能量,及退火条件有关。研究所得的参数对设计量子阱庥成光器件有重要参考价值。
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