【摘 要】
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本文以Christoffel方程和Coulomb定理电学方程为基础，结合压电方程，研究了声表面波角速率传感器的工作原理，利用MATLAB语言编制了数值求解的程序求解包含哥氏力的波动方程，对声表
【机 构】
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北京信息科技大学传感技术研究中心，北京 100101
【出 处】
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第十九届全国测控、计量、仪器仪表学术年会
论文部分内容阅读
本文以Christoffel方程和Coulomb定理电学方程为基础，结合压电方程，研究了声表面波角速率传感器的工作原理，利用MATLAB语言编制了数值求解的程序求解包含哥氏力的波动方程，对声表面波器件所常用的三种压电材料：XY112°-LiTaO，、YZ128°-LiNbO3和ST-SiO2进行了数值计算，分别得到了它们波速相对偏移量分別为△V/V=1.11ppm/r/s，△V/V=0.91pprm/r/s，△V/V=0.75ppm/r/s。由于△V/V=△f/f,因此可以得到相对频率偏移量为△f/f=1.01ppm/r/s,△f/f=0.91ppm/r/s,△f/f0.75ppm/r/s。研究表明：使用XY112°-LiTaO3，作为声表面波角速率传感器的基底材料，可以得到较高的灵敏度及较好的分辨率。
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