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叙述了用声波激振、光纤耦合测量硅微构件杨氏模量的方法，测量了薄膜微构件的硬度，并对微结构材料冲击韧性的测量装置进行了研究。
微构件机械性能的测试与装置
【摘 要】
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叙述了用声波激振、光纤耦合测量硅微构件杨氏模量的方法，测量了薄膜微构件的硬度，并对微结构材料冲击韧性的测量装置进行了研究。
【机 构】
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交通大学
【出 处】
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全国计量测试学术大会
【发表日期】
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1998年期
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