【摘 要】
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本文采用热蒸发法在玻璃衬底上沉积Zn膜，然后在氧气中通过两步热氧化制备ZnO薄膜。利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和紫外透过光谱等表征技术，研究了氧化温度对ZnO薄膜结晶质量和光学性能的影响。研究结果表明，两步氧化法在400℃下氧化1h后的样品中除含有ZnO成份外，还有少量金属Zn存在；525℃下氧化1h可以制备出疏松多孔的ZnO薄膜，其在紫外光和可见光范围内的透过率可达85％。
【机 构】
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湛江师范学院 物理科学与技术学院 湛江 524048 湛江师范学院 物理科学与技术学院 湛江 52
【出 处】
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07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会
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本文采用热蒸发法在玻璃衬底上沉积Zn膜，然后在氧气中通过两步热氧化制备ZnO薄膜。利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和紫外透过光谱等表征技术，研究了氧化温度对ZnO薄膜结晶质量和光学性能的影响。
研究结果表明，两步氧化法在400℃下氧化1h后的样品中除含有ZnO成份外，还有少量金属Zn存在；525℃下氧化1h可以制备出疏松多孔的ZnO薄膜，其在紫外光和可见光范围内的透过率可达85％。通过太阳光和紫外光(254nm)催化降解苯酚实验，发现两步氧化法制备的ZnO薄膜具有良好的光催化特性：太阳光照10h后苯酚降解率达到56％，紫外灯下苯酚降解率高达86％。此外，ZnO薄膜的光催化重复利用实验表明，经过H2O2溶液清洗干燥处理后ZnO薄膜可以基本恢复其光催化能力，此特性为ZnO薄膜的重复利用提供了很好的实验依据。
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