【摘 要】
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采用流延法制备了SiN块体及SiN/Bn层状材料。流延法已经在陶瓷的制备工艺各到了广泛的应用，但是很少用于SiN体系，尤其是水基流延法，用流延法制备SiN/Bn层状材料，可以较为容易的控制坯片的厚度，得到性能稳定的层状材料。
【机 构】
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清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室 清华大学新型陶瓷精细工艺国家重点实验室
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采用流延法制备了Si<,3>N<,4>块体及Si<,3>N<,4>/Bn层状材料。流延法已经在陶瓷的制备工艺各到了广泛的应用，但是很少用于Si<,3>N<,4>体系，尤其是水基流延法，用流延法制备Si<,3>N<,4>/Bn层状材料，可以较为容易的控制坯片的厚度，得到性能稳定的层状材料。
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