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Ｈｅ<'+>离子辐照前后Ｃ－ＳｉＣ薄膜的微观分析
【机 构】
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四川联合大学原子核科学技术研究所
【出 处】
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’94秋季中国材料研讨会
【发表日期】
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1994年期
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