【摘 要】
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设计制作了一种基于体硅工艺的应用于微机电系统器件中的音叉式谐振器,它在双端每个音叉臂上连接了梳齿结构,用来驱动音叉臂横向振动,同时检测其谐振频率的变化.该谐振器是用
【机 构】
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天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室(天津)
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设计制作了一种基于体硅工艺的应用于微机电系统器件中的音叉式谐振器,它在双端每个音叉臂上连接了梳齿结构,用来驱动音叉臂横向振动,同时检测其谐振频率的变化.该谐振器是用体硅工艺加工制作的,其结构简单、可靠性高、成本较低.分析了这一谐振器的工作原理,并对振动特性和结构参数进行了仿真和优化.目前已经测得其谐振频率约为25kHz.这种谐振器应用于谐振式压力传感器、加速度计等作为敏感元件,使传感器直接输出频率信号,对提高微机电系统传感器的精度和可靠性具有重要意义.
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