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针对当前国内外无损检测技术存在的如成本高和无法在线监测等问题，本文提出了一种利用微波谐振腔微扰技术检测材料结构损伤如裂纹、孔洞和腐蚀的方法及其装置。根据微波与物质相互作用原理及有限元仿真软件来设计能够发现并监测防护层下金属的早期腐的健康监控系统，并通过微纳加工技术把系统进一步小型化为具有微带天线结构的传感器系统，后可用于线应变测量和裂纹扩展长度的检测。该方法具有低成本和高精度特点，适用于防护层下金属材料的早期腐蚀和裂纹的快速在线检测和损伤扩展的监测，并可为金属的早期腐蚀监控及非金属结构的轻微损伤检测和维护提供重要的参考。