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液面抖动是由于上轴共振引起，振源是机械泵。
TDR-62单晶炉震动问题研究
【摘 要】
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液面抖动是由于上轴共振引起，振源是机械泵。
【机 构】
：
半导体材料厂
【出 处】
：
第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会
【发表日期】
：
1997年期
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