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对H＃-[2]气敏感的SnO@-[2]/SiO＃-[2]多层薄膜气敏元件
【机 构】
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中国科学院合肥智能机械研究所
【出 处】
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第二届全国敏感元件传感器学术会议
【发表日期】
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1991年期
其他文献
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会议
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