光学CVD金刚石厚膜的应力研究

• 作 者: 卢文壮[1]左敦稳[2]徐锋[2]王珉[2]
• 出 处: 2008年全国博士生学术论坛(航空宇航科学与技术)
• 发表日期: 2008年期

光学级CVD金刚石厚膜作为高性能耐磨透波材料在航空航天领域具有十分广阔的应用前景。本文利用直流等离子喷射法制备了直径为60mm的大面积光学级CVD金刚石厚膜，利用XRD和Raman研究了CVD金刚石厚膜的应力，获得了大面积光学级CVD金刚石厚膜应力的大小与分布特征，为CVD金刚石厚膜在光学领域的应用提供指导。