一种基于声表面波的新型PM2.5监测器

来源 :第十三届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yjj_2323

【摘要】

：

本文首次提出了一种基于声表面波(SAW)的新型PM2.5监测器.该监测器利用微通道内热泳沉积方法,将环境空气中的PM2.5颗粒物吸附到声表面波器件上,结合声表面波振荡器,可实现采

【作者】

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郝文昌刘久玲何世堂

【机构】

：

中国科学院声学研究所北京100190

【出处】

：

第十三届全国敏感元件与传感器学术会议

【发表日期】

：

2014年期

【关键词】

：

声表面波振荡器监测器质量浓度声表面波器件颗粒物吸附实时监测浓度监测环境空气

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本文首次提出了一种基于声表面波(SAW)的新型PM2.5监测器.该监测器利用微通道内热泳沉积方法,将环境空气中的PM2.5颗粒物吸附到声表面波器件上,结合声表面波振荡器,可实现采样空气中PM2.5质量浓度的自动实时监测.基于声表面波的PM2.5监测器将有望实现便携、快速和可靠的PM2.5质量浓度监测.

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