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High order mode polarity inverted Al-polar(0001)ScAlN/O-polar(000-1)ZnO film resonator

来源 :2015两岸超声技术与医学研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cayyr

【出 处】

：

2015两岸超声技术与医学研讨会

【发表日期】

：

2015年期

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