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新型CMOS栅极堆栈结构及材料--21世纪对微电子工业的巨大挑战

来源 :中国科协第三届青年学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：joyceywq

【出 处】

：

中国科协第三届青年学术年会

【发表日期】

：

1998年期

【关键词】

：

栅极 堆栈结构 材料 微电子工业 

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