【摘 要】
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真空紫外(VUV)是波长10～200nm的电磁波.气体放电中,激发态原子和准分子衰减时可产生VUV.本文介绍了作为原子共振辐射VUV源的低气压汞灯、低气压微波等离子体紫外灯和低气压氙
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真空紫外(VUV)是波长10～200nm的电磁波.气体放电中,激发态原子和准分子衰减时可产生VUV.本文介绍了作为原子共振辐射VUV源的低气压汞灯、低气压微波等离子体紫外灯和低气压氙灯,以及基于介质阻挡放电的各种准分子灯,探讨了提高辐射效率的方法.简要介绍了VUV辐射源在有害气体探测、灭菌、废水和废气处理、光诱导表面改性等方面的应用和进展.
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