高功率脉冲激光束与电子束烧蚀过程的对比研究

来源 :'96中国材料研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chenda1982
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高功率脉冲激光束和电子束与靶材料相互作用要产生烧蚀过程。利用这种方法已经产生了多种原子团蔟和纳米簿膜。该文将讨论脉冲激光束和电子束与靶物质相互作用过程中能量沉积与传递,等离子体羽的演化过程,团簇的产生过程等,并比较这两种脉冲束的特点及它们在纳米薄膜制备中的应用。
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