【摘 要】
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本文建立了恒压法正压漏率测量数学模型,提出了压力锯齿变化控制模式,不仅使测量下限延伸到了2.6×10–8Pa×m3/s,而且保证了较高的测量精度.研制的恒压法正压漏孔校准装
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所,甘肃兰州,730000
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本文建立了恒压法正压漏率测量数学模型,提出了压力锯齿变化控制模式,不仅使测量下限延伸到了2.6×10–8Pa×m3/s,而且保证了较高的测量精度.研制的恒压法正压漏孔校准装置采用了水浴恒温技术,使恒温箱内部温度的变化小于0.02K；提出的新型卡套式活塞动密封结构,使直径0.8mm 的精密细活塞的动密封本底漏率仅为10–10Pa ·m3/s 量级.采用虚拟仪器技术开发了测控软件,实现了校准过程的全自动控制.经过实际测试,校准装置的校准范围为(2.6×10-8～1.9×10-6)Pa·m3/s,合成标准不确定度为1.7％～1.3％.
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