高纯石英隔离层对熔融石英坩埚与铸锭晶体硅间杂质扩散的影响

来源 :第九届中国太阳级硅及光伏发电研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ziqun666
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熔融石英坩埚中的金属杂质浓度较太阳能级晶体硅高4-5个数量级,其中对晶体硅性能危害较大的过渡族金属Fe含量较太阳能级晶体硅高2-3个数量级,因而在铸锭过程中熔融石英坩埚对硅料的污染不可忽略.本文以Fe在坩埚与晶体硅中的扩散为研究对象,通过在熔融石英坩埚内壁制备0.5-2mm厚度不等的高纯隔离层,阻挡坩埚本体内Fe向硅熔体及晶体硅中的扩散.随着高纯隔离层厚度的增加,硅锭整体少子寿命略有上升,硅锭边部的红区基本可以消除.对高纯隔离层进行高温烧结可以加强这一效果.
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