基于贝塞尔盒能量分析器规的ESD效应数值模拟研究

来源 :中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gtrfanfan
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在极高真空测量中,电子激励脱附效应(ESD)是重要的影响因素之一.本文利用数值模拟方法对其进行了分析研究,此研究为开展电离规的ESD效应分析提供了重要的理论依据,同时对于抑制ESD效应,制备新型极高真空规具有重要意义.本文选用离子光学模拟软件SIMION8.0建立了ATG物理模型,分析了能量分析器电压对ESD离子收集率的影响,并基于ATG(型号AxTRANISX2)进行了ESD效应实验研究.理论模拟结果能够很好地说明实验研究结论,在极限真空条件下(1.O×10-9Pa),正离子穿过能量分析器后,ESD离子和气相离子能量差达到40eV左右,此良好一致性也证明了数值模拟方法的正确性和合理性.另外,考虑到ESD效应对极高真空测量发展的重要作用,本文依此数值方法模拟计算了基于ATG建立的新型碳纳米管阴极电离规的电子、离子运动轨迹,模拟结果将为研究新型极高真空电离规的ESD效应奠定理论基础.
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