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硅衬底上GaN基LED的进展
硅衬底上GaN基LED的进展
来源 :第八届全国LED产业研讨与学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:konlee53
【摘 要】
:
在硅衬底上外延GaN,提供了一种新的技术平台,能够加速氮化镓在光电子和微电子方面的应用进一步扩大.本文介绍在硅衬底上GaN基发光二极管研制方面的进展.
【作 者】
:
陆大成
中国科学院半导体研究所(北京)
【机 构】
:
福建福日科光电子有限公司(福州)
【出 处】
:
第八届全国LED产业研讨与学术会议
【发表日期】
:
2002年9期
【关键词】
:
硅衬底
GaN外延生长
LED
制作工艺
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在硅衬底上外延GaN,提供了一种新的技术平台,能够加速氮化镓在光电子和微电子方面的应用进一步扩大.本文介绍在硅衬底上GaN基发光二极管研制方面的进展.
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