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Low Temperature GaN Epitaxial Growth Assisted by Hyperthermal Neutral Beams
【机 构】
：
National Fusion Research Instititute,Gwangno 113,Yuseong-Gu,Daejeon,Korea
【出 处】
：
The 8th Asian-European International Conference on Plasma Su
【发表日期】
：
2011年期
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