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随着微机电系统(MEMS)越来越复杂，对微装配、微操作的微力测量要求越来越高。本文提出了一种面向微夹持器柔顺结构视觉力传感单元，该传感器单元与微夹持器采用结构一体化设计思想，加工简易。本文推导了该视觉力传感单元的力-位移理论关系，建立了基于散斑数字图像相关(DIC)方法的柔顺结构力传感单元。通过实验研究，结果表明所提出的柔顺结构视觉力传感单元测量性能达到预期要求。