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本文研究了磁性过渡金属Co掺杂ZnO体系，采用电感耦合等离子体增强物理气相沉积法在不同的条件下制备了上述薄膜，表征了薄膜的微结构、半导体性能、磁性和光学性能。研究结果表明对于Co掺杂ZnO纳米薄膜具有表面平整、晶粒大小均匀、良好的光学透过特性，只有在高真空条件下沉积的薄膜才表现出室温铁磁性，随着氧气分压的增大，铁磁性消失，并且具有铁磁性的薄膜经氧气气氛退火铁磁性也消失；在体系中引入Al后薄膜则表现出稳定的室温铁磁性。