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该文介绍了扩散硅力敏器件计算机辅助设计的组成和方法。根据各种硅杯形式的有限元分析结果，计算力敏器件的性能。给出了几种硅杯形的应力和热应力分布曲线以及力敏电阻灵敏度和零点温度特性分布曲线，为传感器的设计和平面工艺版图设计提供了理论依据。
扩散硅力敏器件计算机辅助设计《硅杯参数化建模及力敏电阻的ＣＡＤ》
【摘 要】
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该文介绍了扩散硅力敏器件计算机辅助设计的组成和方法。根据各种硅杯形式的有限元分析结果，计算力敏器件的性能。给出了几种硅杯形的应力和热应力分布曲线以及力敏电阻灵敏度
【机 构】
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仪器仪表工艺研究所
【出 处】
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中国仪器仪表学会'96沈阳传感器及应用学术会议
【发表日期】
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1996年期
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