【摘 要】
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隐藏在完全封装之中的微机械器件其敏感部分的机械形变不容易直接检测出来,这在高量程微加速度计的冲击标定实验上就带来了难度。在自由落体冲击实验中,需要确定与灵敏度相关
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
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隐藏在完全封装之中的微机械器件其敏感部分的机械形变不容易直接检测出来,这在高量程微加速度计的冲击标定实验上就带来了难度。在自由落体冲击实验中,需要确定与灵敏度相关的速度增量变量,即测试加速度计的速度增量和理想情况下的落体速度增量之比。为了确定这个增量,实验上选择了一些具有较好带宽和较好线性度的微加速度计作为测试器件。为了把振动系统中测试得到的灵敏度用到整个工作频带内,在冲击实验中,采用波形整形技术获得较好的半正弦波形输出,由此可以精度确定速度因子。大量实验表明自由落杆的速度增量并不能简单地被认为是器件敏感元部分的速度增量,速度增量与加速度计的性质和封装形式等因素有关。
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