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建设了一基于复旦大学2×3MV 串列加速器的单粒子微束装置.离子束经分析磁铁30°水平偏转传输后再经90°偏转磁铁竖直上行至辐照终端，以内径1.5μm 的毛细玻璃管微准直器获取离子微束.采用薄膜闪烁体结合光电倍增管的探测结构对微束离子进行精确探测和计数，并以高压静电偏转开关快速关断束流以实现对离子数目的精确控制.目前实验已获得了在质子能量3MeV 时，能散(能量分布曲线中半高宽FWHM)＜60keV、束分辨＜2.5μm、定量照射精度＞95％的质子微束.本文对复旦大学单粒子微束的束流管道设计、建立，微束获取、束开关及单粒子探测、调束方式的改进等核心环节的研制及调试进行介绍.