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基于线性相关分析的纳米结构椭偏测量数据约化方法
【机 构】
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湖北工业大学,机械工程学院,湖北武汉,430068华中科技大学,数字制造装备与技术国家重点实验室,湖北武汉,430074
【出 处】
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第二届全国偏振与椭偏测量研讨会
【发表日期】
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2016年11期
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