【摘 要】
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光学元件的加工亚表面损伤强烈地影响了强激光系统的性能和寿命。光学冷加工残留的亚表面损伤不但会为加工中产生的吸收入射激光的杂质粒子提供宿主，还能调制入射激光增强局部
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光学元件的加工亚表面损伤强烈地影响了强激光系统的性能和寿命。光学冷加工残留的亚表面损伤不但会为加工中产生的吸收入射激光的杂质粒子提供宿主，还能调制入射激光增强局部电场，这些都会使光学元件的损伤阈值降低而有可能最终引起光学元件物理破坏；另一方面，微裂纹本身可以使光学元件的机械强度降低，而且一般情况下这些裂纹会增长，也会最终导致光学元件不能用，因此不得不更换元件，导致成本增加。基于以上原因，这些亚表面微裂纹必须在光学加工的最终步骤中去除。一般这些亚表面微裂纹使用抛光的方法进行去除，
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