【摘 要】
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在合成金刚石的过程中，热力学特性对金刚石的合成有着重要的影响。本文介绍金刚石合成工艺及其对控制策略的要求，并提出一种新型的在线调整参数的变参数模糊自整定PID控制策略
【机 构】
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东华大学信息科学与技术学院，上海 201620
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在合成金刚石的过程中，热力学特性对金刚石的合成有着重要的影响。本文介绍金刚石合成工艺及其对控制策略的要求，并提出一种新型的在线调整参数的变参数模糊自整定PID控制策略。仿真结果表明，该模糊自整定PID控制器不仪具有PID控制器的优点，还克服了系统响应速度慢、超调量较大等缺点，是一种性能优良的控制器。
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