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用电子束反应蒸发方法制备了氧化镍薄膜，分别用三电机和二电极方法测量了薄膜在KOH电解液中的循环伏安特性和循环变色寿命，经过170h约17000次电致变色循环试验，薄膜仍保持相当好的变色性能。X-射线衍射（XRD）分析发现，原始态薄膜含有NiO多晶颗粒，经变色循环寿命试验后，薄膜仍保持其原先的结构。红外（IR）反射测量发现，薄膜内不含有结晶水式结构水。X-射线光电子能谱（XPS）分析表明，薄膜中的主要组分在原始态时为NiO，经循环寿命试验后，在致色时为NiOOH，消色态时为Ni（OH）<,2>。根据测试结果，讨论了氧化镍薄膜的电致变色机理。