【摘 要】
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光致衰退效应是制约非晶硅薄膜电池发展的一个重要因素.在非晶硅/微晶硅叠层电池中引入中间层结构可以对太阳光进行选择性分配,反射部分短波段的光,增加了非晶硅顶电池的光吸收从而减少顶电池的厚度,有效地提高了叠层电池的稳定效率.本文系统地研究了沉积功率、氢气稀释比H2/SiH4、CO2/SiH4等沉积参数对SiOx薄膜光电性能(晶化率、折射率、带隙、电导率等)的影响.经过工艺优化,获得了折射率为2.2、晶
【机 构】
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北京工业大学薄膜科学技术与研究实验室,100124;汉能高端装备产业集团 成都研发中心,610200
【出 处】
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第十四届中国光伏大会暨2014中国国际光伏展览会
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光致衰退效应是制约非晶硅薄膜电池发展的一个重要因素.在非晶硅/微晶硅叠层电池中引入中间层结构可以对太阳光进行选择性分配,反射部分短波段的光,增加了非晶硅顶电池的光吸收从而减少顶电池的厚度,有效地提高了叠层电池的稳定效率.本文系统地研究了沉积功率、氢气稀释比H2/SiH4、CO2/SiH4等沉积参数对SiOx薄膜光电性能(晶化率、折射率、带隙、电导率等)的影响.经过工艺优化,获得了折射率为2.2、晶化率约为29％、光学带隙E04为2.38eV的n型nc-SiOx薄膜.并在0.79m2的TCO玻璃衬底上制备了具有优化的SiOx中间层非晶硅/微晶硅叠层电池,其光伏组件全面积初始转换效率达到12.8％.经过1000h光照后,稳定转换效率为11.1％.
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晶体硅太阳电池的薄片化依然是光伏行业降低生产成本的重要发展方向和必然趋势.然而器件厚度的减薄对其机械强度的影响变得更加突出.本文参考了强度测试的标准,选择用三点弯曲实验探究当今主流厚度(200μm)的晶体硅电池片和减薄单晶硅电池片的机械强度.结果表明,减薄后的单晶硅电池弯曲挠度大,柔韧性很好,但与主流厚度的单晶硅电池相比,机械强度下降较多;与多晶硅电池相比,在机械强度和抗弯能力方面用单晶硅电池进行
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研究和优化了一种分步式扩散,并将其应用于PERC的选择性发射极上,选择性发射极的形成是通过刻蚀发射极的方式形成.相较于传统的一步式扩散,分步扩散具有更低的表面浓度以及饱和电流密度J0e.对比了分步扩散三种不同方阻(45Ω/□,55Ω/□,65Ω/□)以及一步扩散方阻(60Ω/□)的接触电阻Rs,刻蚀前后的饱和电流密度J0e.,刻蚀后的方阻都控制在140Ω/□左右.相对于传统的一步式扩散,方阻55Ω
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