【摘 要】
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采用旋转涂膜法在单面抛光硅片衬底上制得了纳米TiO膜,并用其对SO进行了光催化氧化研究。研究结果表明,在一定反应条件下,纳米TiO膜光催化氧化的脱除率高,120min时SO的去除率
【机 构】
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中国工程物理研究院核物理与化学研究所 四川绵阳919信箱215分箱 621900
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采用旋转涂膜法在单面抛光硅片衬底上制得了纳米TiO<,2>膜,并用其对SO<,2>进行了光催化氧化研究。研究结果表明,在一定反应条件下,纳米TiO<,2>膜光催化氧化的脱除率高,120min时SO<,2>的去除率可达95％以上:考察了气氛中的O<,2>对SO<,2>氧化反应的影响,采用pH值测定、离子色谱分析等手段对所生成的凝聚态产物进行了研究,研究结果对烟气中SO<,2>脱除具有一定的参考价值。
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