【摘 要】
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单色仪作为一种重要的光谱分析和测量仪器,被广泛应用于等离子体光谱诊断、光学元件和仪器的定标实验中1.为了提供一种波长连续可调且无高次谐波干扰的高纯度极紫外单色光,本文以极紫外/软X射线单级衍射光栅[2]作为分光元件,设计了一种无谐波光栅单色仪.单色仪主要由球面镜、平面镜、平面单级衍射光栅及入射、出射狭缝组成,输出光谱范围10-100eV,能谱分辨率E/ΔE大于1000.其中平面镜和平面光栅构成变包
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心高温高密度等离子体物理重点实验室,绵阳 621900
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单色仪作为一种重要的光谱分析和测量仪器,被广泛应用于等离子体光谱诊断、光学元件和仪器的定标实验中1.为了提供一种波长连续可调且无高次谐波干扰的高纯度极紫外单色光,本文以极紫外/软X射线单级衍射光栅[2]作为分光元件,设计了一种无谐波光栅单色仪.单色仪主要由球面镜、平面镜、平面单级衍射光栅及入射、出射狭缝组成,输出光谱范围10-100eV,能谱分辨率E/ΔE大于1000.其中平面镜和平面光栅构成变包含角结构,通过光栅绕其中心转动,平面镜绕平面镜外的一轴转动实现波长扫描.本文对单色仪进行了光学设计,确定了各个光学元件的参数,并利用光线追迹软件X-Lab和Shadow对单色仪进行了仿真,结果表明单色仪具有较高的能谱分辨能力.单色仪采用激光与气体作用产生的等离子体光源作为输入光源.实验结果表明,该单色仪可以在10-100eV光谱范围内实现连续可调的高纯度极紫外单色光输出.
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