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针对微机电系统设计存在多学科交叉、周期长等问题,提出了"自顶向下"设计与"自底向上"修正的双向微机电系统集成设计方法,并以微惯性器件为典型对象讨论了所涉及的关键技术.在此基础上构建了微机电系统集成设计平台,平台可以实现系统级、器件级和工艺级的多设计入口以及全参数化驱动的微机电系统设计.并以硅微加速度为例对该设计思想和平台进行了验证.