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Diagnosis of Dual-frequency Capacitively-coupled Plasmas by Completely Floating Double Probe Method
【机 构】
：
StateKeyLaboratoryofMaterialsModificationbyLaser,IonandElectronBeams,DalianUniversityofTechnology,Da
【出 处】
：
9th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology
【发表日期】
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2008年10期
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