【摘 要】
：
硅基MEMS加工技术一般采用表面微机械加工工艺和体硅微机械加工工艺。表面微机械加工技术由于与微电子平面工艺兼容性好，得到了广泛的应用，但纵向尺寸受到限制。体硅加工工
【出 处】
：
2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
论文部分内容阅读
硅基MEMS加工技术一般采用表面微机械加工工艺和体硅微机械加工工艺。表面微机械加工技术由于与微电子平面工艺兼容性好，得到了广泛的应用，但纵向尺寸受到限制。体硅加工工艺具有极大的灵活性，采用键合工艺，可以较容易地制作出几何尺寸大、机械性能良好，结构复杂的三维器件。键合技术是微机械加工中的重要工艺，金-金热压键合由于对键合温度和键合表面的要求较低，在MEMS器件的加工中受到越来越多的重视。本文对金-金热压键合的基本工艺步骤、每个处理步骤中需要考虑的因素进行了分析，包括金属化前处理，金属组分及厚度的选择，键合前的表面处理以及键合过程中需要考虑的因素。并举例介绍基于金-金热压工艺制造的微机械谐振器和THz波导。
其他文献
本文选择Ni/V双层金属结构，研究了引入V对Ni/4H-SiC欧姆接触性能的影响。实验结果表明，Ni/V双层金属结构在退火温度高于950℃才能与SiC半导体形成良好的欧姆接触；不同厚度的Ni/V
欧姆接触是SiC器件制备的重要工序,同时在高温大功率应用时,欧姆接触的低比接触电阻和高的稳定性是决定器件性能的两个重要因素。许多文章报道了在Si层里C的重新分布以及
中国教育消费市场商机无限教育消费已成为市场消费新热点。改革开放以来,中国人的腰包越来越鼓。截至今年1月底,我国城乡居民储蓄余额高达60242亿元。已不悉吃、不悉穿的人们
果树根外追肥是将肥料配制成一定浓度的溶液,喷洒在果树枝叶上的一种施肥方法。它具有简便易行、节省肥料、效果明显而且能与农药混合使用等优点。尤其是在结果多的大年,由
目的 比较低抗凝强度与中抗凝强度华法林治疗高龄冠心病伴非瓣膜性房颤的临床疗效及安全性.方法 选取2013年1月-2016年3月甘肃省金塔县人民医院心内科收治的高龄冠心病伴非瓣
在石英音叉陀螺微细加工工艺中，使用电镀工艺制作激光修调质量块，用于消除正交耦合误差。本文重点分析了电场强度和对流传质对电镀质量块均匀性的影响。采用ANSYS有限元分
目的 超声心动图检查分析高龄重度子痫前期孕妇心脏形态及功能的变化.方法 选取2016年4月-2018年10月于河北省人民医院行超声心动图检查的孕妇204例,其中重度子痫前期单胎孕
早熟西瓜——特大新５号￥江苏省涟水县石湖良种研究会＠王飞马早熟西瓜——特大新５号特大新５号系郑杂５号的改良种，比郑杂５号早熟５—７天，座果率高、整齐，早期产量增加３０％以上。其皮色、花纹与郑
各位劳动模范同志们:今天是天津市劳动模范的庆功大会,是天津市一个大好的口子。全天津市的人民都非常快乐,每条大街小巷,每个工厂、机关里的人民都成群结队,锣鼓喧天地为你
陈永贵进北京工作后,先是住在京西宾馆,和纪登奎作了邻居。但是农民出身的陈永贵,对住这设备高档的宾馆很不习惯,认为太奢侈浪费,多次向周总理提出搬家的请求。过了一段时间